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HORIBA SEC-N100系列气体质量流量控制器MFC 用于气体质量流量的精密测量和闭环控制,可应用于催化反应、实验室配气、真空镀膜、CVD/PVD、燃料电池测试以及设备配套等场景。
HORIBA S48-BM211 质量流量控制器是一款面向实验室、分析仪器配套及工业设备集成应用的通用型气体质量流量控制器。该产品采用金属密封结构,接气材质为 SUS316L、PTFE 和磁性不锈钢,具备较低的外部漏率,可满足多种气体流量精密控制需求。
HORIBA STEC SEC-N112MGM 热式气体质量流量控制器 是日本堀场(HORIBA)旗下 SEC-N100 系列数字式气体质量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC) 的代表型号之一。
HORIBA STEC SEC-N114MGM 是一款高性能数字式质量流量控制器,隶属于 HORIBA 的 SEC-N100 系列。该系列产品专为半导体制造、光通信、精密气体控制实验室等对气体流量要求较高的工业场景设计,具备高精度、多通信协议支持和快速响应等特点。