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HORIBA 气体质量流量计 SEC-Z522MGX 是一款高性能、多气体/多量程的数字式质量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC),隶属于 HORIBA Z500X 系列,广泛应用于半导体制造、光通信、精密气体控制实验室等对气体流量要求较高的工业场景。
SEC-Z524MGX 是HORIBA高性能数字式质量流量控制器(MFC),隶属于 SEC-Z500X 系列,专为半导体制造、精密化工和高纯气体工艺控制而设计。
HORIBA SEC-Z514MGX 气体质量流量控制器 隶属于 SEC-Z500X 系列,专为半导体制造、精密化工和高纯气体工艺控制而设计。
HORIBA STEC SEC-Z512 是一款广泛应用于半导体、光伏、LED 和液晶面板制造行业的高精度数字式质量流量控制器(Mass Flow Controller, MFC)。