质量流量控制器MFC和质量流量计MFM怎么选？5个主要区别

MFC和MFM都可以测量气体质量流量，但两者的主要功能不同。

MFC是质量流量控制器，既能测量流量，也能通过内部控制阀自动调节流量；MFM是质量流量计，主要负责流量测量和信号输出，通常不具备主动调节功能。

以HORIBA N100系列为例，SEC-N100通常对应MFC，SEF-N100通常对应MFM。

区别一：是否具有流量控制功能

MFC可以接收目标流量设定值，并根据实际流量自动调节内部控制阀。

例如，系统需要持续通入100 SCCM氮气，MFC会比较设定值与实际值，并自动调节阀门。

MFM主要测量当前流量并输出测量信号，本身通常不会自动改变气体流量。

区别二：是否带内部控制阀

MFC通常带有控制阀，因此选型时需要确认常闭或常开形式，并提供入口压力、出口压力和工作压差。

MFM通常不带控制阀。如果气路已经有独立调节阀，只需要监测流量，可以考虑使用MFM。

区别三：输入和输出信号不同

MFC需要接收流量设定信号，同时输出实际流量信号；MFM通常以输出测量信号为主。

HORIBA N100系列可以根据型号配置RS485 F-NET、DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT或模拟信号。

旧设备替换时，除了通信名称，还要核对供电、接插件、针脚定义和控制程序。

区别四：典型应用不同

MFC适合以下应用：

• 催化反应气体控制

• 多路气体配比

• CVD、PVD及真空镀膜

• 燃料电池测试

• 气氛炉和自动化设备

• 需要远程改变流量设定值的系统

MFM适合以下应用：

• 气体流量监测

• 耗气量记录

• 数据采集

• 已有独立调节阀的气路

• 校准和流量比对系统

区别五：两者通常不能直接互换

MFM没有内部控制阀，通常不能直接替换需要自动控制功能的MFC。

MFC虽然可以输出实际流量，但如果系统只需要测量，使用MFC可能会增加成本、气路压降和控制复杂度。

因此，选型时不能只看量程和外观，还应确认产品是否需要执行流量控制。

常见问题

SEC-N100是MFC还是MFM？

HORIBA SEC-N100属于质量流量控制器MFC，可以测量气体流量，并通过内部控制阀调节实际流量。对应的质量流量计型号通常以SEF-N100开头。

SEC-N100和SEF-N100有什么区别？

SEC-N100具有流量测量和自动控制功能，通常带内部控制阀；SEF-N100主要负责流量测量和信号输出，通常不带控制阀。两者不能只根据外观或量程直接互换。

HORIBA N100系列覆盖多大流量？

N100系列总体覆盖约10 SCCM至1000 SLM。不同气体、机身规格和完整型号对应的实际流量范围不同，选型时需要提供使用气体、满量程和常用流量。

多气体功能是否代表任意气体都能切换？

不是。多气体、多量程功能的实际可用范围与传感器、阀门、密封材料、硬件配置和气体数据库有关。更改气体或量程前需要核对产品配置。

旧MFC替换需要提供哪些资料？

建议提供原产品完整铭牌照片、使用气体、满量程、常用流量、入口及出口压力、接头形式、面间距、供电和通信方式。只提供型号前半段通常不足以确认能否直接替换。

HORIBA SEC-N100与SEF-N100选型需要什么资料？

建议提供：

1. 使用气体或混合气体组成

2. 满量程和常用工作流量

3. 入口压力和出口压力

4. 是否需要自动控制流量

5. 接头形式和面间距

6. 模拟或数字通信方式

7. 供电方式

8. 原产品完整型号和铭牌照片

HORIBA N100系列总体覆盖约10 SCCM至1000 SLM，实际流量范围需要结合气体、流量规格及完整配置确认。

曦源科学仪器（上海）有限公司可提供HORIBA SEC-N100和SEF-N100系列选型、型号核对及报价服务，重点服务华东地区科研、实验室和设备配套客户。

说明：本文用于前期选型参考，具体配置以实际工况、完整型号及供货确认资料为准。