SEC-Z512/514//522/524HORIBA高性能数字质量流量控制器是 HORIBA 畅销的数字式质量流量控制器。它具有多量程/多气体功能，用户能够快速方便地现场更改气体类型或满量程流量。

S600 BR212/BR222气体质量流量控制器适用于各种行业和应用。S600系列可以控制广泛的流量：从3 SCCM到500 SLM，并具有各种类型的通信可用，支持 RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™、EtherCAT® 及模拟 0–5V DC 信号输出。

HORIBA SEC-N100系列数字式质量流量控制器适用于各种行业和应用。该控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

HORIBA D700MG 是一款高响应压力非敏感质量流量控制器，专为半导体及相关行业中对高精度、快响应和耐腐蚀性有严格要求的气体输送工艺而开发。

D700T是为关键半导体制造工艺设计的性能优秀的压力不敏感质量流量控制器。D700T采用了HORIBA CRITERION基于压力的流量测量和控制技术，以提供行业优秀的可重复和准确的性能。

HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速响应气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）广泛应用于半导体制造、太阳能电池生产、真空镀膜、分析仪器以及科研实验等领域。