HORIBA SEC-N100系列数字式质量流量控制器适用于各种行业和应用。该控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

HORIBA 质量流量控制器全系列涵盖气体质量流量控制器、压力不敏感型质量流量控制器、通用型质量流量控制器及液体质量流量计/控制器，主要包括 SEC-Z500X、SEC-N100、SEC-Z700X、SEC-E 和 LF-F/LV-F 等系列。

HORIBA GR-314/314F 压力控制器 是面向 DeviceNet 通信架构 的晶圆背面冷却压力控制产品，适用于静电吸盘系统中的背冷气体压力调节。

HORIBA GR-312/312F 背冷压力控制器 属于 GR-300 系列晶圆背面冷却系统，主要用于静电吸盘固定晶圆时的背面冷却气体压力控制。

HORIBA GR-300系列晶圆背面冷却系统 压力控制器是一款面向半导体制造工艺的气体压力控制产品，主要用于静电吸盘固定晶圆时的背面冷却气体控制。

HORIBA S48-BM211 质量流量控制器是一款面向实验室、分析仪器配套及工业设备集成应用的通用型气体质量流量控制器。该产品采用金属密封结构，接气材质为 SUS316L、PTFE 和磁性不锈钢，具备较低的外部漏率，可满足多种气体流量精密控制需求。