HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速响应质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）广泛应用于半导体制造、太阳能电池生产、真空镀膜、分析仪器以及科研实验等领域。

HORIBA S48系列气体质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），适用于多种气体控制场合，兼具高精度、快速响应和高稳定性，广泛应用于半导体制造、分析仪器、真空工艺、环境监测、光纤制造等领域。

SEC-8000F/D/E 系列高温数字式质量流量控制器可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作，用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。

SEC-E 系列数字质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀，可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件，SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。

S600系列数字质量流量控制器适用于各种行业和应用。S600系列可以控制广泛的流量：从3 SCCM到500 SLM，并具有各种类型的通信可用，即模拟、RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™和EtherCAT®。

SEC-Z700X系列压力补偿质量流量控制器配备了可靠的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的流量控制。