HORIBA STEC SEC-N112MGM 热式气体质量流量控制器（MFC）

产品简介

HORIBA STEC SEC-N112MGM 热式气体质量流量控制器 是日本堀场（HORIBA）旗下 SEC-N100 系列数字式气体质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC） 的代表型号之一。
该系列基于 热式质量流量测量原理（Thermal Mass Flow Measurement），采用高精度传感元件与高速控制算法，实现对各类气体的高精度、快速、稳定的流量控制。
凭借 ±1% S.P. 的控制精度和 ≤ 1 s 的响应速度，SEC-N112MGM 广泛应用于 半导体工艺、真空镀膜、精密气体配比、科研气体实验系统 等领域。

主要特性与优势

1. 热式质量流量测量原理（Thermal Mass Flow Method）
   基于加热与温度差检测原理，直接测量气体质量流量，无需温度和压力补偿。

2. 高精度 ±1.0% S.P. 控制
   通过内置 PID 控制与数字反馈系统，实现高重复性和线性响应。

3. 快速响应 ≤ 1 秒
   采用 HORIBA 的 Variable PID 技术，确保流量变化时快速稳定。

4. 多气体/多量程（Multi-Gas, Multi-Range）功能
   支持多种气体预设（N₂、Ar、O₂、H₂、He、CF₄ 等），可通过软件切换不同气体与流量量程。

5. 丰富的通信接口
   提供 RS-485（F-NET 协议）数字通信及模拟信号（0–5 V、4–20 mA）接口，支持多种控制系统集成。

6. 金属密封结构 (MGM)
   采用全金属密封设计，适用于高纯气体及真空工艺环境。

7. 高可靠性与低漂移
   长期稳定性优异，适用于连续运行与高精度气体配比控制。

8. 全球服务与可追溯校准
   HORIBA 提供全球一致的校准体系，符合 ISO 9001 与 CE 认证。

技术参数

应用领域

• 半导体制造工艺气体流量控制（CVD、PVD、ALD 等）

• 精密真空镀膜与薄膜沉积设备

• 高纯气体供应系统（气体柜、混气系统）

• 科研与实验室气体测控装置

• 环保监测、燃烧分析及精密仪器气路控制

品牌介绍

HORIBA STEC 是日本堀场集团（HORIBA Ltd.）旗下专注于 气体流量测量与控制技术 的核心子公司，总部位于京都。
其质量流量控制器（MFC/MFM）产品在全球半导体、真空镀膜、分析仪器行业中占据优势地位。
凭借 50 余年的热式流量计技术积累、严格的质量管理体系、以及优良的数字化控制技术，HORIBA STEC 的产品被广泛认可为高精度、高可靠性、高寿命的行业标准。

产品选型建议

常见问题 FAQ

Q1：SEC-N112MGM 与普通流量计有什么区别？
A1：SEC-N112MGM 为热式质量流量控制器（MFC），可主动控制并保持流量稳定，而普通流量计只能被动显示。

Q2：是否可以测量多种气体？
A2：支持多气体功能，可通过数字接口切换气体类型（N₂、O₂、Ar 等）。

Q3：是否需要温压补偿？
A3：无需，因其采用热式原理，直接测量气体质量流量。

Q4：如何校准？
A4：HORIBA 提供出厂校准及追溯证书，用户可送回或通过代理商进行周期校准。

Q5：是否支持 EtherCAT 或 DeviceNet 通信？
A5：该型号为 RS-485 版本，若需 EtherCAT 可选择 SEC-N107 型号。