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HORIBA GR-314/314F 压力控制器 是面向 DeviceNet 通信架构 的晶圆背面冷却压力控制产品，适用于静电吸盘系统中的背冷气体压力调节。
HORIBA GR-312/312F 背冷压力控制器 属于 GR-300 系列晶圆背面冷却系统，主要用于静电吸盘固定晶圆时的背面冷却气体压力控制。
HORIBA GR-300系列晶圆背面冷却系统 压力控制器是一款面向半导体制造工艺的气体压力控制产品，主要用于静电吸盘固定晶圆时的背面冷却气体控制。
HORIBA GR-511F 是一款专为半导体制造工艺设计的晶圆背面冷却系统 压力控制器，主要用于在静电吸盘（ESC）环境中控制氦气或氩气的背面压力与流量，以保持晶圆背面的温度均匀性与热交换效率。
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