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HORIBA GR-511F 是一款专为半导体制造工艺设计的晶圆背面冷却系统 压力控制器，主要用于在静电吸盘（ESC）环境中控制氦气或氩气的背面压力与流量，以保持晶圆背面的温度均匀性与热交换效率。
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