HORIBA GR-314/314F 晶圆背面冷却系统 DeviceNet背冷压力控制器

产品简介

HORIBA GR-314/314F 压力控制器 是面向 DeviceNet 通信架构 的晶圆背面冷却压力控制产品，适用于静电吸盘系统中的背冷气体压力调节。该组型号适合半导体设备厂商在 DeviceNet 控制平台下进行背冷压力控制方案设计。其中 GR-314 用于压力控制，GR-314F 在此基础上增加流量监测能力，可用于更高要求的过程监控场景。

产品特点

HORIBA GR-314/314F 压力控制器 保留了 GR-300 系列共通的高稳定性压力控制能力。其压力控制范围为 1–100% F.S.，压力精度 ±0.5% F.S.，响应 1 秒以内，适用于晶圆背面冷却过程中对 He、Ar 等气体进行精确压力调节。

这组型号的核心优势在于 DeviceNet 通信。GR-314/314F 采用 ODVA 适配的 DC24V、4.0VA 供电规格，压力输出信号为 0–100%，更适合接入采用现场总线方式的半导体设备控制系统。对于已经使用 DeviceNet 的设备厂商，这一组型号通常比 RS-485 或 EtherCAT 方案更直接。

对于需要兼顾压力控制和流量监测的客户，可重点推荐 GR-314F。GR-314F 提供 20、50、100 SCCM 的流量规格，流量输出为 0–100%，适合做过程监控与自诊断相关应用。

技术参数

型号： GR-314 / GR-314F
产品类型： 晶圆背面冷却气体压力控制器
通信协议： DeviceNet Protocol
驱动电源： DC24V，4.0VA（ODVA 适配）
阀型： 常闭（Normally Close / NC）
适用气体： He、Ar、N2（F 型明确列出）
满量程压力： 13.33 kPa(A) [100 Torr]
压力控制范围： 1–100% F.S.
压力精度： ±0.5% F.S.
响应时间： ≤1 秒
工作压力： 250 kPa(A)
耐压： 300 kPa(A)
外部泄漏率： ≤5×10^-12 Pa·m³/s（He）
压力输出： 0–100%
标准接头： 1/4 inch VCR 相当
安装方向： 自由
GR-314F 流量满量程： 20 / 50 / 100 SCCM
GR-314F 流量测量范围： 0–100% F.S.
GR-314F 流量输出： 0–100%。

典型应用

GR-314/314F 适合用在采用 DeviceNet 网络 的蚀刻设备、等离子体 CVD 设备及其他需要背冷气体压力控制的半导体工艺设备中。GR-314F 尤其适合需要同时获取流量信息的系统，用于提高设备运行状态可视化与维护效率。