HORIBA GR-312/312F 晶圆背面冷却系统 RS-485背冷压力控制器

产品简介

HORIBA GR-312/312F 背冷压力控制器 属于 GR-300 系列晶圆背面冷却系统，主要用于静电吸盘固定晶圆时的背面冷却气体压力控制。该组型号适合需要 RS-485 F-Net 通信 的半导体设备配套场景，可用于 He、Ar、N2 等气体相关的背冷控制应用。其中 GR-312 为压力控制型号，GR-312F 在压力控制基础上增加了流量监测能力，更适合对过程状态监控要求更高的设备方案。

产品特点

HORIBA GR-312/312F 背冷压力控制器 具备稳定的晶圆背冷压力控制能力，适用于晶圆中心区或边缘区的冷却气体调节。该组产品压力控制范围为 1–100% F.S.，压力精度为 ±0.5% F.S.，响应时间 1 秒以内，适合半导体设备中对背冷控制稳定性和一致性要求较高的工况。

GR-312/312F 的另一特点是更适合接入保留 RS-485 架构的设备控制系统。该组型号采用 ±15V 电源，通信方式为 RS-485 F-Net Protocol；同时，GR-312/312F 的压力输出为 0–10VDC。对于需要模拟量输出配合上位系统采集的设备，这组型号更容易集成。

如果客户需要同时监测背冷气体流量，建议优先推荐 GR-312F。根据 HORIBA 资料，GR-312F 提供 20、50、100 SCCM 流量满量程可选，流量测量范围为 0–100% F.S.，流量输出为 0–5VDC。

技术参数

型号： GR-312 / GR-312F
产品类型： 晶圆背面冷却气体压力控制器
通信协议： RS-485 F-Net Protocol
驱动电源： +15V ±5% / 150mA，-15V ±5% / 150mA
阀型： 常闭（Normally Close / NC）
适用气体： He、Ar、N2（F 型明确列出）
满量程压力： 13.33 kPa(A) [100 Torr]
压力控制范围： 1–100% F.S.
压力精度： ±0.5% F.S.
响应时间： ≤1 秒
工作压力： 250 kPa(A)
耐压： 300 kPa(A)
外部泄漏率： ≤5×10^-12 Pa·m³/s（He）
压力输出： 0–10VDC
标准接头： 1/4 inch VCR 相当
安装方向： 自由
GR-312F 流量满量程： 20 / 50 / 100 SCCM
GR-312F 流量测量范围： 0–100% F.S.
GR-312F 流量输出： 0–5VDC。

典型应用

GR-312/312F 适合用于需要 RS-485 通信 的半导体设备背冷控制单元，例如等离子体 CVD、蚀刻、背冷回路压力调节以及部分腔体精密压力控制场景。GR-312F 更适合同时要求背冷压力调节与流量监测的应用。