HORIBA S48-BM211 质量流量控制器 通用型气体MFC 金属密封 模拟量输出

产品信息

产品名称： HORIBA S48-BM211 质量流量控制器
品牌： HORIBA
型号： S48-BM211
产品类别： 质量流量控制器 / 气体质量流量控制器 / MFC

产品简介

HORIBA S48-BM211 是一款面向实验室、分析仪器配套及工业设备集成应用的通用型气体质量流量控制器。该产品采用 HORIBA 相关流体控制技术平台，适合对气体流量进行稳定、连续、精确控制的场景。S48 系列提供模拟量接口方案，其中 BM211 为金属密封版本，适用于对密封性、洁净度和控制稳定性有一定要求的气体控制工况。

产品特点

1. 通用型经济级设计，适合设备配套与实验应用
S48 系列定位为通用型质量流量控制器，可应用于生产设备、实验系统和评价系统，覆盖较广的工业与科研使用场景。

2. 金属密封结构，外漏率更低
BM211 属于 S48 系列中的金属密封型号。BM211/BM221 的外部漏率为 1×10⁻¹¹ Pa·m³/s（He）以下，接气部材质为 SUS316L、PTFE、磁性不锈钢。

3. 精度与响应兼顾
S48 BR/BM/CR/CM 系列给出的典型性能包括：响应时间≤1.0 s（T98）、精度±1.0% F.S.、线性±0.5% F.S.、重复性±0.2% F.S.，适合常规气体控制与测试应用。

4. 安装灵活，并带自动调零功能
S48 模拟系列资料中提到，该系列支持较灵活的安装方向，并带有自动零点调整功能，可用于提升长期使用过程中的控制稳定性。

5. 便于系统集成
BM211 对应 DB9 电气接口、±15VDC 供电以及模拟量信号方案，适合与实验平台、分析仪器、测试装置及工艺设备进行配套集成。

技术参数

系列名称： S48 Series
产品类型： 质量流量控制器（MFC）
具体型号： BM211
密封形式： 金属密封
电气接口： DB9 Pin
供电方式： +15VDC ±5% / 140mA，-15VDC ±5% / 140mA
流量设定信号： 0.1～5VDC（对应 2～100% F.S.）
流量输出信号： 0～5VDC（对应 0～100% F.S.）
流量控制范围： 2～100% F.S.
响应时间： ≤1.0 s（T98）
精度： ±1.0% F.S.
线性： ±0.5% F.S.
重复性： ±0.2% F.S.
工作压力： 300 kPa(G)
耐压： 1 MPa(G)
使用环境温度： 5～50℃
推荐精度保证温度范围： 15～35℃
外部漏率： 1×10⁻¹¹ Pa·m³/s（He）以下
接气部材质： SUS316L、PTFE、磁性不锈钢
接头形式： 1/4 inch Swagelok 相当 或 1/4 inch VCR 相当
B系列满量程范围： 10 SCCM～50 SLM（具体满量程需按订货配置确认）

外形尺寸

S48-BM111/121/211/221 这一组外形尺寸样本中单独列出。

若采用 1/4 inch Swagelok 相当接头（4IS），尺寸约为：L127 × W70 × T35 × H124 mm，D12.7 mm；

若采用 1/4 inch VCR 相当接头（4CR），尺寸约为：L124 × W70 × T35 × H124 mm，D12.7 mm。

适用领域

S48 系列可用于以下场景：
分析仪器中的燃烧、载气与采样气流控制、炉体/燃烧器气体混合与配比控制、真空镀膜工艺控制、环境监测中的动态稀释、PM2.5 与 VOC 相关气体控制、光纤制造中的 MCVD/VAD/OVD 工艺，以及太阳能、材料处理等工艺中的气体流量控制。

订货说明

订货前请确认：
气体类型、满量程流量、接头类型（1/4" Swagelok / 1/4" VCR）、现场供电条件、控制信号形式及具体应用工况。