HORIBA 气体质量流量控制器

产品概述

HORIBA 质量流量控制器产品线主要面向气体与液体的精密流量测量和闭环控制，涵盖数字式气体质量流量控制器、压力不敏感型质量流量控制器、通用型质量流量控制器，以及液体质量流量计/控制器等多个方向，适用于半导体制造、科研实验室以及多种工业流体控制场景。其相关产品长期由 HORIBA STEC 体系提供，主要系列包括 SEC-Z500X、SEC-N100、SEC-Z700X、SEC-E，以及 LF-F/LV-F 等。

质量流量控制器的核心作用，是按照外部设定信号自动调节流体流量，并通过传感器、旁通结构、控制阀和控制电路实现实时测量与反馈控制。与单纯体积流量控制相比，质量流量控制更适合需要高稳定性和高重复性的工艺过程，因此被广泛应用于自动化产线和精密实验系统。

产品系列

SEC-Z500X系列数字式质量流量控制器

SEC-Z500X 系列属于高性能数字式质量流量控制器，也是 HORIBA 在该方向上的代表性系列之一。该系列支持 Multi-Gas / Multi-Range 功能，可在现场更改气体种类和满量程流量，便于减少备件种类、提升设备通用性；同时具备 ±1.0% S.P. 精度、压电执行阀、约 1 秒响应 以及全金属结构，可用于对稳定性、响应速度和工艺一致性要求较高的气体控制场合。通信方式方面，可提供 Digital/Analog、DeviceNet 和 EtherCAT 等接口。

SEC-N100系列数字式质量流量控制器

SEC-N100 系列更强调宽量程覆盖与多行业适配能力，流量控制范围可从 10 SCCM 延伸至 1000 SLM，适合从微小流量到大流量的不同工况。该系列同样支持 Multi-Gas / Multi-Range 功能，并提供 Digital/Analog、DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS、EtherCAT 等多种通信方式，兼顾系统集成灵活性与数字化控制需求。其标称精度可达 ±1.0% S.P.，并具备约 1 秒高速响应，适合设备制造、工艺开发及多行业气体过程控制。

SEC-Z700X系列压力不敏感型质量流量控制器

SEC-Z700X 系列适合对供气稳定性要求更高、且上游或下游压力波动较明显的系统。该系列集成入口压力测量能力，并采用压力不敏感控制思路，可在一定程度上减少传统供气系统中调压器、压力传感器和过滤器的配置需求，从而帮助简化气路结构、降低系统复杂度。该系列同样支持 Multi-Gas / Multi-Range、约 1 秒响应和 ±1.0% set point 精度，并可同时输出流量、温度和压力相关信息。

SEC-E系列通用型质量流量控制器

SEC-E 系列属于通用型质量流量控制器，采用热式传感器与电磁阀结构，适合实验室及工业系统中的常规气体流量控制任务。该系列流量范围覆盖 10 SCCM 至 200 SLM，既可用于 LCD、光伏、电力半导体、涂层等制造系统，也可用于燃烧气体控制、环境气体控制、混合气体配比、通风量测量、实验室采样以及研发测试等应用。对于需要兼顾稳定性、适用范围和成本效率的场景，SEC-E 系列具有较高通用性。

LF-F / LV-F系列液体质量流量计与控制器

LF-F / LV-F 系列用于液体质量流量测量与控制，适合低沸点液体、高黏度液体以及微小流量液体的精密输送。该系列采用 Peltier 冷却式测量原理，通过冷却而非加热方式检测流量变化，可降低低沸点液体在检测过程中的汽化风险，提高测量稳定性。其控制能力覆盖从微升级到超低流量范围，其中 LF-F 为液体质量流量计，LV-F 则在相同测量原理基础上增加压电阀和内部比较控制电路，实现闭环液体流量控制，适合精密供液、蒸发供液及相关液体工艺系统。

产品特点

HORIBA 质量流量控制器的特点在于系列层次清晰，既有适合高精度半导体工艺的数字式系列，也有适合多行业应用的宽量程通用系列，同时覆盖液体质量流量测量与控制。气体侧产品强调高精度、快速响应、多气体多量程切换和丰富通信方式；液体侧产品则强调低沸点液体适配、超低流量控制和稳定的闭环反馈控制能力。

在系统集成方面，HORIBA 质量流量控制器可提供模拟和多种工业总线通信接口，适合接入自动化控制平台、半导体设备、科研测试系统及工业气液流体控制系统。对于需要提高工艺重复性、缩短设备切换时间、减少备件种类并提升数字化管理能力的应用场景，多气体、多量程和多通信接口配置具有较高实用价值。

典型应用

日本 HORIBA 质量流量控制器可广泛应用于半导体制造、光伏制造、显示制造、光纤制造、科研实验室、测试气体发生系统、燃烧及配气系统、环境气体控制、食品饮料工艺以及液体蒸发与输送控制等领域。其中，气体MFC更适合精密供气和混气应用，液体质量流量控制器则更适合精密供液、低沸点化学品输送及相关液体工艺控制。