HORIBA SEC-N100系列气体质量流量控制器MFC

HORIBA SEC-N100系列用于气体质量流量的精密测量和闭环控制，可应用于催化反应、实验室配气、真空镀膜、CVD/PVD、燃料电池测试以及设备配套等场景。

HORIBA SEC-N100系列气体质量流量控制器MFC覆盖10 SCCM至1000 SLM流量范围，提供模拟信号、RS485 F-NET、DeviceNet、CC-Link、PROFIBUS及EtherCAT等通信选择。

主要特点

• 多气体、多量程功能

• 系列流量范围10 SCCM–1000 SLM

• 系列宣传精度可达±1.0%设定点，部分型号及低流量区间以具体规格为准

• 部分规格响应时间约1秒

• 可选不同密封材料、接头和阀门配置

• 适合科研实验和设备集成使用

通信系列

• SEC-N102：RS485 F-NET及0–5 VDC模拟信号

• SEC-N104：DeviceNet

• SEC-N105：CC-Link及模拟信号

• SEC-N106：PROFIBUS及模拟信号

• SEC-N107：EtherCAT

典型应用

HORIBA SEC-N100系列可用于：

• 催化反应及气氛控制

• 多路气体混配系统

• 真空镀膜和磁控溅射

• CVD、PVD及等离子工艺

• 燃料电池和氢能测试

• 高校、科研院所实验装置

• 气体分析仪器及自动化设备配套

产品选型与询价

曦源科学仪器（上海）有限公司可提供HORIBA SEC-N100系列质量流量控制器的选型、型号核对及报价服务，重点服务华东地区科研、实验室和设备配套客户。

询价时请尽量提供：

• 使用气体

• 满量程及常用流量

• 入口和出口压力

• 接口形式

• 模拟或数字通信方式

• 新项目选型或原型号替换

联系时请注明“HORIBA SEC-N100选型"，便于快速对接。