HORIBA SEC-N100系列数字式质量流量控制器适用于各种行业和应用。该控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。

产品型号：HORIBA SEC-N112/122MGM

更新时间：2025-04-10

厂商性质：代理商

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HORIBA 质量流量计：高精度气体流量控制器

HORIBA质量流量控制器的工作原理

质量流量计的技术优势与应用

细胞计数仪技术综览：从传统到前沿

产品介绍

品牌	HORIBA/堀场	价格区间	面议
产品种类	质量式	介质分类	气体
产地类别	进口	应用领域	环保,化工,电子/电池,制药/生物制药,汽车及零部件
控制范围	10 SCCM 至 1000 SLM多种量程可选	通信模式和电源	多种可选
精度	+/- 1.0%	响应时间	1s
功能	多气体/多量程

HORIBA SEC-N100 系列数字式质量流量控制器产品概述

　　SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能数字式质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、分析仪器、光电子、生物医药等领域。该系列支持多种通信协议，具有较高的精度、快速响应能力和强大的多气体、多量程适应能力，是新一代工艺控制系统的理想选择。

产品特点

支持多种通信方式

数字/模拟通信
DeviceNet™
CC-Link™
PROFIBUS™
EtherCAT®

高精度流量控制

控制精度达 ±1.0% of Set Point (*1)
重复性好，稳定性高

快速响应性能

响应时间：≤1秒（T98）
可变 PID 控制算法，确保不同气体/不同流量下的稳定输出

多气体/多量程功能

支持用户自定义更换气体类型和满量程（Full Scale）设定
降低库存成本，提高设备通用性和灵活性

高可靠性设计

无运动部件结构，可靠性更高，适合长期稳定运行
紧凑型设计，适配多种系统集成环境

技术规格

规格	选择通信模式	选择电源
SEC-N112MG SEC-N122MG SEC-N132MG SEC-N142MG SEC-N172R	数字通信 ▶RS485 F-NET协议模拟通信 ▶0〜5VDC	±15VDC（±5%） HORIBA的阵容包括租赁电源PE系列。
SEC-N114MG SEC-N124MG SEC-N134MG SEC-N144MG SEC-N174R	DeviceNet™通信	符合ODVA标准
SEC-N115MG SEC-N125MG SEC-N135MG SEC-N145MG SEC-N175R	CC-Link®通信模拟通信 ▶0到5VDC，0到10VDC 4到20mA	符合CC-Link®标准24VDC（13至32VDC）
SEC-N116MG SEC-N126MG SEC-N136MG SEC-N146MG SEC-N176R	PROFIBUS™通信模拟通信 ▶0到5VDC，0到10VDC 4到20mA	符合PROFIBUS™标准24VDC（13至32VDC）
SEC-N117MG SEC-N127MG SEC-N177R	EtherCAT®通信	符合EtherCAT®标准24VDC