HORIBA D700MG 高响应压力非敏感质量流量控制器

产品概述

HORIBA D700MG 是一款高响应压力非敏感质量流量控制器，专为半导体及相关行业中对高精度、快响应和耐腐蚀性有严格要求的气体输送工艺而开发。产品具备优秀的控制性能及自诊断能力，适用于刻蚀、沉积等关键制程。

产品特点

• 超快响应性能
  D700MG 实现了小于 100 ms 的响应时间（符合 SEMI E17-1011 标准），显著提升系统动态性能，减少气体滞后。

• 压力扰动不敏感设计
  内部结构与算法支持压力扰动补偿，即使在进出口压力波动（≤ ±70 kPa/s）时也能保持稳定流量。

• 小流量控制能力出众
  支持 Bin101 至 Bin105 流量等级，可用于 2 SCCM 起的小流量精密控制（2 SCCM 以下不保证精度）。

• 智能状态监控功能
  内置诊断系统，可记录：

• 压力和流量调零计数

• 阀门驱动变化次数

• 最大/最小流量和压力变化 实现预防性维护和远程故障预警。

• 增强的阀门关闭性能与耐腐蚀性
  采用 PFA（全氟烷氧基）喷嘴结构，有效抑制颗粒产生，提高化学兼容性与系统纯净度。

技术规格

典型应用场景

• 半导体刻蚀工艺（Etching）

• 原子层沉积（ALD）

• 化学气相沉积（CVD）

• 封装及材料气氛控制

• OLED 显示面板制造