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产品型号：D700T
更新时间：2025-04-07
厂商性质：代理商
访问量：71
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| 品牌 | HORIBA/堀场 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 差压式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,食品/农产品,化工,电子/电池,汽车及零部件 |
| 动态范围 | 可定制 | 支持气体 | 支持多种气体及单位（sccm ~ slm） |
| 控制精度 | ±0.45% S.P. | 响应时间 | 小于 100 ms |
| 通信接口 | DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等 | 使用温度 | 15°C ~ 60°C |
| 工作压力 | ≤0.5 MPa（参考气体不同略有差异） |
HORIBA D700T 是一款面向半导体制造领域的压力不敏感质量流量控制器，采用优良的 CRITERION® 压力式流量测量与控制技术，具备出色的响应速度、压力不敏感性和高精度控制能力。该产品被广泛应用于半导体、显示器、光电子等制造领域的气体输送系统中。
超快响应时间
配备新一代控制算法和双阀门结构，实现了 小于 100 ms 的高速响应，大幅提高了生产效率。
进/出口压力变化不敏感
补偿机制可在工艺过程中压力波动的情况下维持稳定流量，保障工艺一致性。
高重复性与高精度
重复性：≤ ±0.15% F.S.
精度：优良可达 ±0.45% S.P.，典型值为 ±0.8% S.P.
故障检测与自诊断功能
具备优良的自诊断能力，实时监测并反馈压力漂移、阀体泄漏等潜在风险。
数字化通信接口
支持DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT等工业协议，方便与上位系统集成。
适应严苛工艺环境
工作温度范围：15°C ~ 60°C，适用于各种洁净室条件。
| 参数 | 数值 |
| 控制范围 | 可定制 |
| 支持气体 | 多种气体 |
| 控制精度 | ±0.8% S.P.（典型），±0.45% S.P.（优良） |
| 重复性 | ±0.15% F.S. |
| 响应时间 | ≤ 100 ms |
| 通信接口 | DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等 |
| 工作压力 | 真空至 300 kPa |
| 使用温度 | 15°C ~ 60°C |
| 接口类型 | DeviceNet / PROFIBUS / EtherCAT 等 |
半导体前段工艺（如刻蚀、沉积、离子注入）
显示面板制造
化学气相沉积（CVD）
原子层沉积（ALD）
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