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压差式质量流量控制器 D500这款技术优良的质量流量控制器具备压差检测功能和压电驱动阀。 CRITERION D500 适用于一系列优良的半导体制程，具有压力补偿，多量程/多气体/多压力，G-LIFE（集成限流器方程的气体定律校验）自诊断功能，高精度、快速响应、宽量程、全金属等特点。
HORIBA SEC-N100系列数字式质量流量控制器适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。
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