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产品型号：SEC-N100
更新时间：2025-04-07
厂商性质：代理商
访问量：388
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| 品牌 | HORIBA/堀场 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,制药/生物制药,汽车及零部件 |
| 控制范围 | 10 SCCM 至 1000 SLM多种量程可选 | 通信模式和电源 | 多种可选 |
| 精度 | +/- 1.0% | 响应时间 | 1s |
| 功能 | 多气体/多量程 |
SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能数字式质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、分析仪器、光电子、生物医药等领域。该系列支持多种通信协议，具有较高的精度、快速响应能力和强大的多气体、多量程适应能力，是新一代工艺控制系统的理想选择。
支持多种通信方式
数字/模拟通信
DeviceNet™
CC-Link™
PROFIBUS™
EtherCAT®
高精度流量控制
控制精度达 ±1.0% of Set Point (*1)
重复性好，稳定性高
快速响应性能
响应时间：≤1秒（T98）
可变 PID 控制算法，确保不同气体/不同流量下的稳定输出
多气体/多量程功能
支持用户自定义更换气体类型和满量程（Full Scale）设定
降低库存成本，提高设备通用性和灵活性
高可靠性设计
无运动部件结构，可靠性更高，适合长期稳定运行
紧凑型设计，适配多种系统集成环境
| 规格 | 选择通信模式 | 选择电源 |
| SEC-N102 系列 | 数字通信 ▶RS485 F-NET协议 模拟通信 ▶0〜5VDC | ±15VDC（±5%） HORIBA的阵容包括租赁电源PE系列。 |
| SEC-N104 系列 | DeviceNet™通信 | 符合ODVA标准 |
| SEC-N105 系列 | CC-Link®通信 模拟通信 ▶0到5VDC，0到10VDC 4到20mA | 符合CC-Link®标准24VDC（13至32VDC） |
| SEC-N106 系列 | PROFIBUS™通信 模拟通信 ▶0到5VDC，0到10VDC 4到20mA | 符合PROFIBUS™标准24VDC（13至32VDC） |
| SEC-N107 | EtherCAT®通信 | 符合EtherCAT®标准24VDC |
半导体制程设备（如 CVD、Etching、PVD）
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医疗与生物制药气体控制
化学反应过程气体定量注入
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