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产品型号：D500
更新时间：2025-04-07
厂商性质：代理商
访问量：89
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| 品牌 | HORIBA/堀场 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,制药/生物制药,汽车及零部件 |
| 动态范围 | 0.2% 满量程 至 100% 满量程 | 响应时间 | < 0.8 s |
| 功能 | 多气体/多量程/多压力 |
CRITERION D500 是 HORIBA 推出的高性能压差式质量流量控制器，专为半导体工艺气体控制设计，兼具高精度、快速响应和稳定性，适用于对气体流量有严格要求的应用环境。
压力不敏感性能（Pressure Insensitive）
内置压力补偿控制技术，有效抑制供气压力波动的影响
简化系统设计，无需额外稳压设备
多量程 / 多气体 / 多压力自适应
支持多种气体类型、多种满量程流量设定
可根据需要灵活调整供气压力范围
一机多用，适应多种工艺场景
G-LIFE 自诊断功能
内置基于气体定律（限流器方程）的自检功能
操作人员可在3秒内完成流量状态测试
提高设备维护效率和生产连续性
三维调整技术
通过流量通道结构与压力传感器的位置优化，提升测量线性度与精度
提供更稳定、重复性更高的流量控制
快速响应能力
控制响应时间小于0.8秒
满足快速切换及精细控制需求
宽动态控制范围
控制范围：0.2% ~ 100% 满量程
精确控制微小流量至大流量需求
| 参数 | 数值 |
| 流量类型 | 质量流量（压力差原理） |
| 控制方式 | 数字闭环控制 |
| 控制响应时间 | < 0.8 秒 |
| 控制精度 | 优于 ±1.0% F.S. |
| 重复性 | 优于 ±0.2% F.S. |
| 接口类型 | VCR / Swagelok 可选 |
| 适用气体 | 多种（N₂、H₂、Ar、He、O₂ 等） |
| 供电电压 | ±15 VDC / 24 VDC |
| 通信接口 | RS-485 / DeviceNet（可选） |
| 工作温度范围 | 15 ~ 45 ℃ |
| 气体通道材质 | SUS316L（内表面电抛光） |
半导体制造工艺气体输送控制
化学气相沉积（CVD）
原子层沉积（ALD）
显影、蚀刻、扩散工艺
实验室精密气体配比系统
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