新型压力补偿质量流量控制器SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

产品型号：SEC-Z700S

更新时间：2025-04-07

厂商性质：代理商

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产品介绍

品牌	HORIBA/堀场	价格区间	面议
产品种类	差压式	介质分类	气体
产地类别	进口	应用领域	环保,化工,电子/电池,制药/生物制药,汽车及零部件
控制范围	0.5-100% 满量程	精度	1%
响应时间	300ms≤t≤1000ms	功能	多气体/多量程
操作温度	15-60℃

HORIBA SEC-Z700S 系列新型压力补偿质量流量控制器（MFC）

产品概述

HORIBA SEC-Z700S 系列是一款高性能新型压力补偿质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），专为高精度气体输送系统设计。其集成优良的热传感器与压力补偿算法，有效克服了上游和下游压力波动对流量稳定性的影响，适用于半导体制造、材料工艺、精密气体混合等领域。

产品特点

多气体 / 多量程支持
可通过软件设置快速切换气体种类和满量程流量，提升通用性与灵活性。
内建压力传感器与温度传感器
实现更精确的流量补偿，适应复杂的工作环境。
高洁净设计
流路全部采用 SUS316L 不锈钢及金属隔膜，表面镜面抛光，符合半导体行业高洁净标准。
丰富的通讯接口
支持 Analog（0-5V / 4-20mA）、DeviceNet、EtherCAT 等主流工业通信协议。
结构紧凑
相同体积覆盖 50 SLM 以下的多种型号，简化系统集成。
响应时间可调
支持 300ms ~ 1000ms 之间灵活调整控制响应时间。

技术规格

规格	满量程范围	气体类型（可切换）	接口尺寸
SEC-Z711MGX	5 SLM	N₂ / Ar / H₂ 等	1/4" VCR
SEC-Z714MGX	20 SLM	多种气体（可设定）	1/4" VCR
SEC-Z716MGX	50 SLM	多种气体（可设定）	3/8" VCR