HORIBA SEC-Z700S 系列 新型压力补偿质量流量控制器（MFC）

产品概述

HORIBA SEC-Z700S 系列是一款高性能新型压力补偿质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），专为高精度气体输送系统设计。其集成优良的热传感器与压力补偿算法，有效克服了上游和下游压力波动对流量稳定性的影响，适用于半导体制造、材料工艺、精密气体混合等领域。

产品特点

• 多气体 / 多量程支持
  可通过软件设置快速切换气体种类和满量程流量，提升通用性与灵活性。

• 内建压力传感器与温度传感器
  实现更精确的流量补偿，适应复杂的工作环境。

• 高洁净设计
  流路全部采用 SUS316L 不锈钢及金属隔膜，表面镜面抛光，符合半导体行业高洁净标准。

• 丰富的通讯接口
  支持 Analog（0-5V / 4-20mA）、DeviceNet、EtherCAT 等主流工业通信协议。

• 结构紧凑
  相同体积覆盖 50 SLM 以下的多种型号，简化系统集成。

• 响应时间可调
  支持 300ms ~ 1000ms 之间灵活调整控制响应时间。

技术规格

适用行业与应用场景

• 半导体设备气体输送

• 显示器制造工艺

• 化学气相沉积（CVD / ALD）

• 高精度气体混合与分配

• 科研实验室及气体反应系统