SEC-8000F/D/E 系列高温数字式质量流量控制器可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作，用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。

SEC-E 系列数字质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀，可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件，SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。

S600系列数字质量流量控制器适用于各种行业和应用。S600系列可以控制广泛的流量：从3 SCCM到500 SLM，并具有各种类型的通信可用，即模拟、RS485、DeviceNet™、PROFIBUS™和EtherCAT®。

SEC-Z700X系列压力补偿质量流量控制器配备了可靠的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的流量控制。

SEC-Z500X 多量程/多气体数字质量流量控制器。它具有多量程/多气体功能，用户能够快速方便地现场更改气体类型或满量程流量。

新型压力补偿质量流量控制器SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。