SEC-Z500X 多量程/多气体数字质量流量控制器。它具有多量程/多气体功能，用户能够快速方便地现场更改气体类型或满量程流量。

新型压力补偿质量流量控制器SEC-Z700S 系列配备了新开发的热传感器和压力补偿功能，可实现稳定的流量控制。集成压力测量功能降低了气体输送系统的成本、尺寸和复杂性。

压差式质量流量控制器 D500这款技术优良的质量流量控制器具备压差检测功能和压电驱动阀。 CRITERION D500 适用于一系列优良的半导体制程，具有压力补偿，多量程/多气体/多压力，G-LIFE（集成限流器方程的气体定律校验）自诊断功能，高精度、快速响应、宽量程、全金属等特点。

HORIBA SEC-N100系列数字式质量流量控制器适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。