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高温数字式质量流量控制器
产品简介:

SEC-8000F/D/E 系列高温数字式质量流量控制器可在 15℃ 至 120℃ 的高温环境下工作,用于半导体和化合物半导体加工在内的各种工作任务。

产品型号:SEC-8000 F/D/E 系列

更新时间:2025-04-07

厂商性质:代理商

访问量:65

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产品介绍
品牌HORIBA/堀场价格区间面议
产品种类差压式介质分类气体
产地类别进口应用领域环保,食品/农产品,化工,电子/电池,汽车及零部件
动态范围3 SCCM 至 150 SLPM(具体视气体种类与型号而定)支持气体各类高纯气体、腐蚀性气体
控制精度±1.0%响应时间≤1 秒
通信接口数字:RS485(SEC-8000F),DeviceNet(SEC-8000D)使用温度5~50°C
工作压力1 ~ 3 bar接口类型1/4

HORIBA SEC-8000F/D/E 系列 高温数字式质量流量控制器

产品概述

HORIBA SEC-8000 F/D/E 系列是一款专为高温环境设计的高温数字式质量流量控制器(MFC),适用于 15°C 至 120°C 的使用温度范围。该系列产品集成了高精度控制、快速响应和高洁净设计,广泛应用于半导体、光伏和光纤等行业的高温气体流程管理。

产品特点

  • 高温适用性:可在 15°C 至 120°C 的环境下稳定运行,满足苛刻工艺条件。

  • 高精度控制:控制精度高达 ±1.0% of S.P.,确保关键工艺中流量稳定可靠。

  • 快速响应性能:响应时间短,提高系统整体效率,适合动态气体控制需求。

  • 全金属超洁净设计:适用于高纯气体和腐蚀性气体,适配最严苛洁净度要求。

  • 多种通讯协议:支持数字(RS485)与 DeviceNet 通讯(根据型号区分)。

  • 环保合规:通过 RoHS 标准,降低对环境的影响。

技术规格


参数数值
控制范围3 SCCM 至 150 SLPM(具体视气体种类与型号而定)
支持气体各类高纯气体、腐蚀性气体
控制精度±1.0% of Set Point(1~100% F.S.)
重复精度±0.2% of F.S.
响应时间≤1 秒
通信接口数字:RS485(SEC-8000F),DeviceNet(SEC-8000D)
工作压力1 ~ 3 bar
使用温度15~120°C
接口类型1/4", 1/2" VCR®, Swagelok®, 面密封等可选
电源要求24 VDC ±10%
认证标准SCE、RoHS、SEMI 等


应用领域

  • 半导体制造工艺(刻蚀、沉积、扩散等)

  • 化合物半导体器件生产

  • 光伏电池制造

  • 光纤与特种玻璃材料处理

  • 精密材料热处理气氛控制


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