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产品型号:SEC-8000 F/D/E 系列
更新时间:2025-04-07
厂商性质:代理商
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品牌 | HORIBA/堀场 | 价格区间 | 面议 |
---|---|---|---|
产品种类 | 差压式 | 介质分类 | 气体 |
产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,食品/农产品,化工,电子/电池,汽车及零部件 |
动态范围 | 3 SCCM 至 150 SLPM(具体视气体种类与型号而定) | 支持气体 | 各类高纯气体、腐蚀性气体 |
控制精度 | ±1.0% | 响应时间 | ≤1 秒 |
通信接口 | 数字:RS485(SEC-8000F),DeviceNet(SEC-8000D) | 使用温度 | 5~50°C |
工作压力 | 1 ~ 3 bar | 接口类型 | 1/4 |
HORIBA SEC-8000 F/D/E 系列是一款专为高温环境设计的高温数字式质量流量控制器(MFC),适用于 15°C 至 120°C 的使用温度范围。该系列产品集成了高精度控制、快速响应和高洁净设计,广泛应用于半导体、光伏和光纤等行业的高温气体流程管理。
高温适用性:可在 15°C 至 120°C 的环境下稳定运行,满足苛刻工艺条件。
高精度控制:控制精度高达 ±1.0% of S.P.,确保关键工艺中流量稳定可靠。
快速响应性能:响应时间短,提高系统整体效率,适合动态气体控制需求。
全金属超洁净设计:适用于高纯气体和腐蚀性气体,适配最严苛洁净度要求。
多种通讯协议:支持数字(RS485)与 DeviceNet 通讯(根据型号区分)。
环保合规:通过 RoHS 标准,降低对环境的影响。
参数 | 数值 |
控制范围 | 3 SCCM 至 150 SLPM(具体视气体种类与型号而定) |
支持气体 | 各类高纯气体、腐蚀性气体 |
控制精度 | ±1.0% of Set Point(1~100% F.S.) |
重复精度 | ±0.2% of F.S. |
响应时间 | ≤1 秒 |
通信接口 | 数字:RS485(SEC-8000F),DeviceNet(SEC-8000D) |
工作压力 | 1 ~ 3 bar |
使用温度 | 15~120°C |
接口类型 | 1/4", 1/2" VCR®, Swagelok®, 面密封等可选 |
电源要求 | 24 VDC ±10% |
认证标准 | SCE、RoHS、SEMI 等 |
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