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SEC-E 系列数字质量流量控制器
产品简介:

SEC-E 系列数字质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀,可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件,SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。

产品型号:HORIBA

更新时间:2025-04-07

厂商性质:代理商

访问量:72

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产品介绍
品牌HORIBA/堀场价格区间面议
产品种类差压式介质分类气体
产地类别进口应用领域环保,食品/农产品,化工,电子/电池,制药/生物制药
控制范围10 SCCM 至 200 SLM支持气体多种标准及特殊气体
控制精度±1.0%响应时间≤1秒
通信接口模拟、RS485、DeviceNet、PROFIBUS

HORIBA SEC-E 系列数字质量流量控制器

产品概述

HORIBA SEC-E 系列数字质量流量控制器(Mass Flow Controller,简称 MFC),适用于各种工业与科研应用。该系列产品通过热式传感器检测气体流量,并搭配高响应电磁阀进行精准控制,支持多种气体类型与广泛的流量范围,性能稳定,控制精度高。

产品特点

  • 高精度热式传感器
    内置热传感器可实现实时流量测量,确保流量控制的高精度与重复性。

  • 电磁阀控制
    快速响应的电磁阀结构,具备良好的流量调节能力,适合动态工况。

  • 多气体兼容性
    支持多种标准及特种气体,如 N₂、O₂、Ar、He、H₂、CO₂ 等。

  • 宽流量控制范围
    控制范围从 10 SCCM 至 200 SLM,涵盖从实验室级别到工业规模的多种需求。

  • 数字/模拟信号兼容
    提供模拟 (0–5V, 4–20mA) 和数字通讯(RS485, DeviceNet, PROFIBUS)接口,便于系统集成。

  • 紧凑设计,易于安装
    模块化结构,体积小,适合集成到各类设备或系统中。

技术规格


参数数值
可控气体种类多种标准及特殊气体
流量控制范围10 SCCM ~ 200 SLM(以 N₂ 为基准)
控制精度±1.0% F.S.(标准型)
重复精度±0.2% F.S.
响应时间≤1 秒
通讯方式模拟 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS
供电电压±15VDC 或 +24VDC
接头类型1/4" Swagelok, VCR, 面密封等多种可选
操作温度范围5 ~ 50°C














SEC-E 系列数字质量流量控制器


适用场景

半导体制造

  • 薄膜沉积(CVD, PVD)

  • 离子注入

  • 等离子蚀刻

  • 光刻工艺辅助

工业控制

  • 气体混合系统

  • 燃烧器气体配比

  • 工业气体监控

科研实验

  • 气体传感器实验

  • 微反应器进气控制

  • 生物技术及制药行业实验


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