产品中心
产品型号:HORIBA
更新时间:2025-04-07
厂商性质:代理商
访问量:72
相关文章
品牌 | HORIBA/堀场 | 价格区间 | 面议 |
---|---|---|---|
产品种类 | 差压式 | 介质分类 | 气体 |
产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,食品/农产品,化工,电子/电池,制药/生物制药 |
控制范围 | 10 SCCM 至 200 SLM | 支持气体 | 多种标准及特殊气体 |
控制精度 | ±1.0% | 响应时间 | ≤1秒 |
通信接口 | 模拟、RS485、DeviceNet、PROFIBUS |
HORIBA SEC-E 系列数字质量流量控制器(Mass Flow Controller,简称 MFC),适用于各种工业与科研应用。该系列产品通过热式传感器检测气体流量,并搭配高响应电磁阀进行精准控制,支持多种气体类型与广泛的流量范围,性能稳定,控制精度高。
高精度热式传感器
内置热传感器可实现实时流量测量,确保流量控制的高精度与重复性。
电磁阀控制
快速响应的电磁阀结构,具备良好的流量调节能力,适合动态工况。
多气体兼容性
支持多种标准及特种气体,如 N₂、O₂、Ar、He、H₂、CO₂ 等。
宽流量控制范围
控制范围从 10 SCCM 至 200 SLM,涵盖从实验室级别到工业规模的多种需求。
数字/模拟信号兼容
提供模拟 (0–5V, 4–20mA) 和数字通讯(RS485, DeviceNet, PROFIBUS)接口,便于系统集成。
紧凑设计,易于安装
模块化结构,体积小,适合集成到各类设备或系统中。
参数 | 数值 |
可控气体种类 | 多种标准及特殊气体 |
流量控制范围 | 10 SCCM ~ 200 SLM(以 N₂ 为基准) |
控制精度 | ±1.0% F.S.(标准型) |
重复精度 | ±0.2% F.S. |
响应时间 | ≤1 秒 |
通讯方式 | 模拟 0–5V、RS485、DeviceNet、EtherCAT、PROFIBUS |
供电电压 | ±15VDC 或 +24VDC |
接头类型 | 1/4" Swagelok, VCR, 面密封等多种可选 |
操作温度范围 | 5 ~ 50°C |
半导体制造
薄膜沉积(CVD, PVD)
离子注入
等离子蚀刻
光刻工艺辅助
工业控制
气体混合系统
燃烧器气体配比
工业气体监控
科研实验
气体传感器实验
微反应器进气控制
生物技术及制药行业实验