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产品型号：HORIBA
更新时间：2025-04-07
厂商性质：代理商
访问量：69
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| 品牌 | HORIBA/堀场 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 差压式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 环保,食品/农产品,化工,电子/电池,汽车及零部件 |
| 控制范围 | 5 SCCM – 50 SLM（具体型号不同而异） | 支持气体 | 多种气体（支持用户自定义设置） |
| 控制精度 | ±1.0% | 响应时间 | ≤1 秒 |
| 通信接口 | RS-485、DeviceNet、EtherCAT、模拟（0–5V/4–20mA） | 使用温度 | 5～50°C |
| 压力补偿范围 | 50 – 300 kPa（绝对压力） |
HORIBA 的 SEC-Z700X系列压力补偿质量流量控制器，专为半导体、材料研究、优良制造等气体流量控制应用设计。其集成了入口压力传感器，通过控制算法，实现了在压力波动情况下依旧保持稳定、高精度的流量控制。
该系列产品支持多气体、多量程切换，采用高洁净设计，符合严苛的洁净室和超高纯气体环境需求。
压力补偿功能：内置压力传感器，自动补偿入口压力波动，确保流量稳定。
多气体 / 多量程支持（MG/MR）：用户可根据需求自由切换气体类型及满量程，极大提升系统灵活性。
可变 PID 控制算法：自适应调节响应速度与精度，在整个控制范围内均可实现快速响应（1 秒内）。
紧凑型一体化设计：整合流量传感器、控制阀、压力传感器于一体，节省空间，简化气体供给系统结构。
高洁净结构：
采用全 SUS-316L 不锈钢材料
金属隔膜密封设计
表面电抛光处理，适合高洁净工艺环境
高精度控制性能：流量设定精度达 ±1% F.S.
多种通讯方式：支持模拟信号、RS485、DeviceNet™ 等工业标准接口，方便集成至自动化系统。
低压损 & 高重复性：高重复性（±0.2% F.S.）和极低的压降，提升系统效率。
| 参数 | 数值 |
| 可控气体种类 | 多种气体（支持用户自定义设置） |
| 流量控制范围 | 5 SCCM – 50 SLM（具体型号不同而异） |
| 控制精度 | ±1% F.S. |
| 重复精度 | ±0.2% F.S. |
| 响应时间 | ≤ 1 秒 |
| 压力补偿范围 | 50 – 300 kPa（绝对压力） |
| 工作温度范围 | 5°C – 50°C |
| 材料（气体接触部分） | SUS316L、PTFE、金属隔膜等 |
| 表面处理 | 内表面电抛光 |
| 通讯方式 | 模拟/RS485/DeviceNet™ 等 |
| 安装方向 | 任意方向 |
| 认证标准 | SCE、RoHS、SEMI 等 |
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