HORIBA 气体质量流量计 SEC-Z522MGX 是一款高性能、多气体/多量程的数字式质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），隶属于 HORIBA Z500X 系列，广泛应用于半导体制造、光通信、精密气体控制实验室等对气体流量要求较高的工业场景。

HORIBA 气体质量流量计 SEC-Z522MGX 

产品概述

HORIBA 气体质量流量计 SEC-Z522MGX 是一款高性能、多气体/多量程的数字式质量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），隶属于 HORIBA Z500X 系列，广泛应用于半导体制造、光通信、精密气体控制实验室等对气体流量要求较高的工业场景。其精密度高、响应速度快、兼容性强，是实现高稳定性气体输送控制的理想选择。

主要特点

• 多气体 / 多量程支持：用户可现场切换气体类型与满量程范围，无需更换本体；

• 高精度控制：低至 ±1.0% S.P. 的设定精度，重复性高达 ±0.2% F.S.；

• 高速响应：1 秒内快速响应，适用于动态过程控制；

• 数字通信接口：支持 RS-485（F-NET 协议）或可选 DeviceNet、EtherCAT 等；

• 316L 不锈钢接液材质：适用于腐蚀性气体，高洁净工艺兼容；

• 多种接头接口：支持 1/4 英寸 VCR、IGS 及定制接口；

• 安装方向不受限制：便于系统集成设计。

技术参数

• 最大流量范围：可达 50 SLM（以氮气为基准计算）。

• 控制范围：可在满量程的 2% 至 100% 之间稳定控制。

• 测量范围：0% 至 100% 满量程。

• 控制精度：

• 当流量大于 25% 满量程时，控制精度为 ±1.0% 设定点（Set Point）。

• 当流量小于或等于 25% 满量程时，控制精度为 ±0.25% 满量程（Full Scale）。

• 响应时间：小于 1 秒，适用于快速动态气体控制。

• 重复性：±0.2% 满量程，确保批次一致性。

• 线性度：±0.5% 满量程，适用于精密工艺控制。

• 工作温度范围：5°C 至 50°C（推荐使用范围为 15°C 至 45°C）。

• 工作压差范围：50 至 300 kPa（差压）。

• 最大工作压力：最高可达 450 kPa（表压），设备耐压上限为 1000 kPa。

• 泄漏率：氦气测试泄漏率小于或等于 5 × 10⁻¹² Pa·m³/s，适用于高洁净等级要求。

• 电源要求：+15V ±5% 和 -15V ±5%，各需 150 mA。

• 通信接口：标准支持 RS-485（F-NET 协议），可选 DeviceNet、EtherCAT 协议版本。

• 接液材质：316L 不锈钢，内部表面镜面抛光处理，耐腐蚀性优异。

• 接口形式：标准为 1/4 英寸 VCR 接头，亦可选配 IGS 或定制接口。

• 安装方向：不受限制，适应各类设备布置需求。

• 阀门类型：常闭（Normally Closed, C 型）或常开（Normally Open, O 型），视型号配置而定。

• 多气体 / 多量程功能：支持通过软件自由切换气体类型与满量程设定，提升系统兼容性与维护便利性。

应用领域

• 半导体制造中的气体输送与刻蚀工艺

• 光通信器件的高纯气体控制

• 生物、医药、实验室高精气体流量控制

• 化学反应过程自动化气体管理