HORIBA 的 XF-100 系列数字式液体质量流量计是一款专为半导体制造等高精度流体控制场景设计的仪器。

XF-100 系列数字式液体质量流量计

产品概述

HORIBA 的 XF-100 系列数字式液体质量流量计是一款专为半导体制造等高精度流体控制场景设计的仪器。该系列采用压差测量原理，具备快速响应、高精度和洁净设计等特点，适用于对液体流量控制要求严格的工艺环境。

主要技术特点

• 测量原理：基于压差法，能够在 100 毫秒内实现高速响应；若与压电阀组合使用，响应时间可缩短至 0.8 秒以内。

• 测量精度：±0.8% 满量程，适用于高精度流量控制需求。

• 洁净设计：采用超洁净结构，满足半导体等对洁净度要求较高的应用场景。

• 应用领域：主要用于半导体工艺中的液体流量监控与控制，如光刻、蚀刻、薄膜沉积等环节。

型号与规格

典型应用场景

• 半导体制造中的光刻、清洗、涂胶等工艺液体控制

• 光电显示产业的液体配比系统

• 微流控与化学反应控制设备

• 高精度试剂配液与传输

• 激光加工冷却液精控

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如果您对更大流量范围或集成控制功能有需求，HORIBA 还提供 LF-F/LV-F 系列液体质量流量计/控制器，适用于更广泛的工业应用场景。

如需进一步了解 XF-100 系列的应用案例、选型建议或与其他流量计的对比信息，请告知您的具体需求，我将为您提供更详细的资料和建议。