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产品型号：LAUDA Semistat
更新时间：2025-06-26
厂商性质：代理商
访问量：138
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| 品牌 | LAUDA/劳达 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 生物产业,电子/电池,制药/生物制药,电气,综合 |
LAUDA Semistat 是一款基于热电制冷（Peltier）技术的高性能热电式过程恒温器，专为半导体行业设计。该系列设备提供 –20 °C 至 +90 °C 的温控范围，适用于等离子刻蚀（Plasma Etching）等高精度温控应用。与传统压缩机制冷系统相比，Semistat 系统能效更高、体积更小，非常适合安装于洁净室地板下，节省空间并降低能耗。
节能环保：无压缩机和制冷剂，能效高，能耗低。
紧凑设计：行业内最小占地面积，适合地下安装，节省洁净室空间。
快速响应：动态温控系统，温度稳定性高达 ±0.1 K。
低液量：极低的热传导液体量，减少能量损耗。
兼容性强：支持多种刻蚀设备通信标准。
模块化设计：便于现场维护和模块更换。
| 型号 | 工作温度 | 最高工作温度 | 最大加热功率 | 20 °C 时制冷功率 | 最大泵流量（压力） | 外形尺寸（宽×深×高） | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | –20 °C | +90 °C | 3 kW | 1.2 kW | 18.9 L/min（0.274 MPa） | 116 × 232 × 470 mm | 25 kg |
| Semistat S 2400 | –20 °C | +90 °C | 6 kW | 2.45 kW | 同上 | 116 × 300 × 560 mm | 35 kg |
| Semistat S 4400 | –20 °C | +90 °C | 12 kW | 4.4 kW | 同上 | 194 × 300 × 560 mm | 55 kg |
半导体制造：用于晶圆刻蚀过程中的温控，确保刻蚀质量。
实验室研究：为科研设备提供精确的温控支持。
洁净室系统：节省空间并降低能耗，适合洁净室环境。
高精度制造：满足对温控精度要求高的制造工艺。
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