HORIBA SEC-N100系列数字式质量流量控制器

SEC-N100 系列适用于各种行业和应用。该质量流量控制器可以控制不同范围的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。SEC-N100 系列还支持各种通信模式，即数字/模拟、DeviceNet™、CC-Link™ 、PROFIBUS™ 和 EtherCAT® 。SEC-N100 系列提供高精度（+/- 1.0% 设定点 *1）和高速响应。该质量流量控制器还具有多气体/多量程功能，可降低制程成本。

• 控制范围广，从微流到大量程（10 SCCM 至 1000 SLM）

• 支持多种通信模式和电源

• 高精度：+/- 1.0% 设定点 (*1)

• 1 秒高速响应（*1）

• 多气体/多量程功能