气体质量流量控制器如何选型？气体、量程和压力参数说明

质量流量控制器MFC既可以测量气体流量，也可以根据外部设定值调节内部控制阀，使实际流量保持在目标范围。

MFC常用于催化反应、实验室配气、真空镀膜、CVD/PVD、燃料电池测试以及自动化设备配套。

实际选型时，只提供“气体名称＋最大流量"通常不够。以HORIBA SEC-N100系列为例，完整配置还涉及工作压力、通信方式、密封材料、阀门状态、接头和机械尺寸等信息。

一、确认使用气体

选型时应提供具体气体名称。如果使用混合气体，还要说明各组分比例。

不同气体的物性不同，对应的可用流量范围也会发生变化。

SEC-N100系列支持多气体、多量程功能，但实际可切换范围与产品硬件、气体数据库和密封配置有关，并不代表任意气体都能在同一台产品上直接使用。

二、不要只提供最大流量

建议同时说明满量程、常用工作流量和控制流量。

例如，最大需求为1 SLM，但长期工作点只有50 SCCM，就需要重点核对低流量区间的控制能力是否满足要求。

HORIBA SEC-N100系列总体覆盖约10 SCCM至1000 SLM。不同机身规格对应不同的流量段，具体范围应结合使用气体和完整型号确认。

三、提供入口和出口压力

MFC依靠内部阀门进行闭环控制，需要合适的工作压差。

常压排放、真空腔体和带背压的系统，其选型条件并不相同。询价时建议分别提供入口压力、出口压力以及压力是否稳定。

只提供气瓶压力或减压阀量程，通常不能准确反映MFC的实际工作条件。

四、确认需要MFC还是MFM

MFC具有流量测量和自动控制功能；MFM主要负责测量，不带主动流量调节功能。

HORIBA产品型号中，SEC通常对应质量流量控制器，SEF通常对应质量流量计。

如果系统需要自动维持设定流量，应选择MFC；如果外部已经配置调节阀，只需要流量信号，则可以核对MFM方案。

五、确认信号、通信和供电

HORIBA SEC-N100系列具有多种通信配置：

• SEC-N102：RS485 F-NET及模拟信号

• SEC-N104：DeviceNet

• SEC-N105：CC-Link及模拟信号

• SEC-N106：PROFIBUS及模拟信号

• SEC-N107：EtherCAT

选型时还要核对流量设定信号、输出信号、供电电压、接插件和控制系统。

即使都使用RS485，不同通信协议、地址设置和接线定义也可能无法直接兼容。

六、核对密封、阀门和接口

密封材料需要结合气体性质、洁净度及泄漏要求进行选择。

阀门需要确认断电时是常闭还是常开。多数需要断电切断气路的应用通常选择常闭型，具体仍应根据设备控制逻辑确定。

机械接口除了管径，还要核对VCR或卡套形式、接头公母、两端面间距、安装宽度及接插件方向。

旧型号替换时，这些机械参数和电气信号同样重要。

七、旧型号替换需要提供什么

旧型号替换时，建议提供原产品完整铭牌照片，并补充以下信息：

1. 使用气体

2. 满量程和常用流量

3. 入口压力及出口压力

4. 接头形式和面间距

5. 供电及通信信号

6. 新项目还是旧设备替换

只看SEC-N112、SEC-N122等型号前半段，通常无法完成准确替换，仍需核对完整型号后缀。

产品选型与询价

曦源科学仪器（上海）有限公司可提供HORIBA SEC-N100系列质量流量控制器的选型、型号核对和报价服务，重点服务华东地区科研、实验室及设备配套客户。

联系时请尽量提供“气体＋量程＋压力＋接口＋通信方式"，并注明“HORIBA SEC-N100选型"。

说明：具体气体、量程、精度、压力和接口配置，以完整型号及供货确认资料为准。